기가포톤, 최신형 ArF엑시머 레이저 GT65A 출하
리소그래피 광원의 다운타임을 최대 50％ 개선함으로써 리소그래피 장치의 가동률 향상에 크게 기여
높아지는 반도체 수요에 대응
GT65A는 레이저의 안정 가동 및 공정 마진을 향상함으로써 리소그래피 장치의 생산성 향상에 크게 기여한다.
GT65A의 특징은 다운타임을 최대 50％ 개선한 것이다. 이는 주요 모듈인 챔버의 수명을 30％ 연장시킨 것과 지금까지 기가포톤이 축적해 온 경험과 노하우를 바탕으로 한 유지보수의 효율화를 통해 실현했다.
또한 스펙트럼 제어 기능인 안정화 기술 ‘eMPL Solid’와 컨트롤 기능 ‘hMPL’은 CD 균일성 향상 및 프로세스 최적화와 확장성을 가능하게 했다.
이에 더하여 GT65A는 헬륨가스를 사용하지 않도록 했다. 이를 통해 환경부담 절감뿐 아니라 미래의 헬륨가스 공급부족이나 가격 급등 시의 리스크를 대폭 줄임으로써 고객의 지속가능성 향상 및 CSR 활동에 기여하게 된다.
대표이사 사장 우라나카 카츠미는 “최근의 반도체 시장이 호황을 보임에 따라 리소그래피 장치의 가동률 향상이 각 제조업체들의 주요 과제가 되었다”며 “기가포톤은 새로운 로드맵 ‘RAM Enhancement’에 따른 신기술을 통해 리소그래피 광원의 신뢰성(Reliability)·가동률(Availability)·보수효율성(Maintainability)을 더욱더 강화하고 개선하여 반도체 제조업계에 기여하겠다”고 말했다.
GT65A 관련 과거 보도자료: http://www.gigaphoton.com/kr/news/4938
RAM Enhancement 관련 과거 보도자료: http://www.gigaphoton.com/kr/news/5223
무헬륨 관련 과거 보도자료: http://www.gigaphoton.com/kr/news/4682
기가포톤(Gigaphoton) 개요
기가포톤은 2000년 설립 이래 레이저 공급업체로서 반도체 제조사에 가치 있는 솔루션을 제공해왔다. 기가포톤은 초기 연구개발 단계부터 제조, 판매, 보수서비스에 이르기까지 항상 사용자의 시각을 반영한 세계최고수준의 지원을 제공하고자 최선을 다하고 있다. 자세한 사항은 웹사이트(www.gigaphoton.com)에서 확인할 수 있다.
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